真空等離子清洗機

產品分類

聯系我們

深圳市普拉斯瑪自動化設備有限公司

聯系人:鄒軍 

手機:13823299736

電話:86-755-23287290

傳真:86-755-23287348

網址:www.oeltest.com

地址:深圳市寶安區松崗街道沙浦社區洋涌工業區八路2號碧桂園廠房6棟305


等離子清洗機

您的當前位置: 首 頁 >> 產品中心 >> 等離子清洗機

等離子清洗機

  • 所屬分類:等離子清洗機

  • 點擊次數:
  • 發布日期:2020/06/17
  • 在線詢價
詳細介紹

等離子清洗機  BP980


等離子清洗機

等離子清洗機



等離子清洗機

等離子清洗機

等離子清洗機


設備規格:

Item

Specification

Remark

制程規劃

手動將產品或載盤,放入腔體中的多層電極架中,高頻電源系統,對于擺放在電極架拖盤上或是料盒中的產品進行真空等離子表面改質


傳送方式

手動上下料(料盒)

可放置12個料盒/CT約400秒

腔體

材質:SUS 304



內腔容積約110L(W:450mm*H450mm*D540mm)



強化安全玻璃真空腔體窗口 ,抗紫外線及高頻輻射


真空泵

真空泵萊寶D-60T+鮑斯BSJ-70羅茨泵

雙級泵組


制程壓力10~100pa之間



壓力量測范圍10-3~1   torr


制程氣體

混和氣體:95%   Ar+5%H2

氣體用量約:5~40sccm之間


質流量控制SEVEN START D70


等離子電源

型式:射頻RF   Generator(含自動匹配器)



頻率:13.56MHz



功率:0-600Watt


等離子效應

載盤(電極)間互相電容感應式產生區域等離子


氣體流場分布

門板前端進氣口均勻導入制程氣體



有效層流,提升等離子均勻度,由腔體后方排氣


安全聯鎖

當腔體門打開,真空PUMP閥件關閉與RF電源無法啟動


緊急停止開關EMS

使用鎖定類型緊急停止開關和放置在方便操作的區域


控制

PLC+威倫觸摸屏/3級密碼



廠務需求:

項目

規 格

電  力
  Power   supply

相 (Phase)/ 線 (Line)

3   / 4

電壓(Volt))/ 頻率(Hz)

380   V/ 50Hz

功率(Power)

4.5KVA

Grounding

壓縮空氣
  (CDA)

CDA

破真空用/氣動組件需求

壓力   Pressure (kg/cm2)

6

流量   flow rate (LPM)

80

管徑   Pipe dia.(mm)

外徑6mm內徑4mm

排   氣
  Exhaust

內循環

安裝原廠油氣過濾與回收套件

管徑   Pipe dia.(inch)

DN40

外型尺寸                   (Outline)

寬*高*深(mm)

約1100*1600*1060(含三色燈)

運轉重量(kg)

約550   KGW


軟件應用:

1 整合方式PLC程序控制

2 觸控式顯示面板控制(臺灣威倫)。

3 最大5組製程參數預設及儲存。


受訓內容: (先期廠商端簡易驗收/廠商端受訓)

1 訓練程序表:安裝,校正,操作,故障原因追查,保養及維修。 

2 訓練時間及地點:在安裝機地點或客戶端4小時教育訓練。


相關標簽:?等離子清洗機,等離子清洗機價格,等離子清洗機批發

最近瀏覽:

在線客服
分享
  • <tt id="lkqyq"><address id="lkqyq"></address></tt>

    <video id="lkqyq"></video>

      1. <b id="lkqyq"><th id="lkqyq"></th></b>
        <label id="lkqyq"></label>
            {最近的2019中文字幕免费手机,在线√天堂中文,国产精品成人观看视频国产奇米,国产成人精品综合久久久久}