真空等離子清洗機

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自動等離子清洗機

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自動等離子清洗機

  • 所屬分類:等離子清洗機

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  • 發布日期:2020/11/08
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詳細介紹

等離子清洗機  BP-4

自動等離子清洗機自動等離子清洗機




自動等離子清洗機

自動等離子清洗機


自動等離子清洗機



Item

Specification

Remark

制程規劃

自動將產品或載盤,放入腔體中的電極架中,高頻電源系統,對于擺放在電極架拖盤上或是料盒中的產品進行真空等離子表面改質


傳送方式

自動上下料

可放置4-5個料盒/CT約40秒

腔體

材質:AL6061


內腔容積約20L


強化安全玻璃真空腔體窗口   ,抗紫外線及高頻輻射


真空泵

真空泵萊寶D-60T


制程壓力10~100pa之間


壓力量測范圍10-3~1   torr


制程氣體

混和氣體:95% Ar+5%H2

氣體用量約:5~40sccm之間

質流量控制SEVEN START D70


等離子電源

型式:射頻RF Generator(含自動匹配器)


頻率:13.56MHz


功率:0-600Watt


等離子效應

載盤(電極)間互相電容感應式產生區域等離子


氣體流場分布

門板前端進氣口均勻導入制程氣體


有效層流,提升等離子均勻度,由腔體后方排氣


安全聯鎖

當腔體門打開,真空PUMP閥件關閉與RF電源無法啟動


緊急停止開關EMS

使用鎖定類型緊急停止開關和放置在方便操作的區域


控制

PLC+威倫觸摸屏/3級密碼



項目

規 格

電  力

相 (Phase)/ 線 (Line)

3相4線

Power supply

電壓(Volt))/ 頻率(Hz)

380 V/ 50Hz


功率(Power)

2.5KVA


Grounding

壓縮空氣 

CDA

破真空用/氣動組件需求

(CDA)

壓力 Pressure (kg/cm2)

6


流量 flow rate (LPM)

20


管徑 Pipe dia.(mm)

外徑6mm內徑4mm

排   氣

內循環

安裝原廠油氣過濾與回收套件

Exhaust

管徑 Pipe dia.(inch)

DN40

外型尺寸                   (Outline)

寬*高*深(mm)

約1100*1600*1060(含三色燈)

運轉重量(kg)

約800 KGW


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